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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
장영철 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제7권 제3호
발행연도
2008.1
수록면
55 - 58 (4page)

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The objective of this research is to design, manufacture and test a mass flow controller capable of measuring compressible as well as incompressible fluid flows based on a 'bucket and stop-watch' method. The basic principle behind such a system is the measurement of time, where the time taken to fill and empty a bucket of known volume is measured. This device should be able to handle fluid flows in the range of 0.1 ml/min to 10 ml/min within an accuracy of ${\pm}$1%. For the flow meter to be able to compete with established designs, it must be not only comparable in cost and robustness, but also very accurate and reliable as well.
#incompressible flow #mass flow controller #time based LMFC #semiconductor #flow meter

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