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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
한재형 (경북대학교 IT대학 전자공학부) 최무한 (경북대학교 IT대학 전자공학부)
저널정보
한국유화학회 한국유화학회지 한국응용과학기술학회지 제32권 제2호
발행연도
2015.1
수록면
232 - 239 (8page)

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화학기상증착법(CVD)을 이용하여 Cu-foil 위에 합성된 대면적의 단층 그래핀(Graphene)을 폴리머 탄성융합체 PDMS(Polydimethylsiloxane)를 이용하여 건식으로 전사하는 기술을 연구하였다. 이때, $UV/O_3$처리를 통해 목표 기판(target substrate)의 표면 개질을 변화시켜 그래핀의 손상이 최소화되로록 그래핀을 전사하였다. 이 과정을 반복 실행하여 그래핀을 다층(1~4 layers)으로 $SiO_2/Si$기판 위에 적층하였으며, 전사된 다층 그래핀의 품질평가를 위하여 광투과율과 면저항의 변화를 측정하였다.
#그래핀 #건식 전사법 #표면 개질 #폴리디메틸실록산 #표면에너지

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