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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
노재성 (충남대학교 공과대학 정밀공업화학과) 양현수 (충남대학교 공과대학 정밀공업화학과) 조헌영 (충남대학교 공과대학 정밀공업화학과) 조태웅 (충남대학교 공과대학 정밀공업화학과)
저널정보
한국공업화학회 공업화학 공업화학 제4권 제2호
발행연도
1993.1
수록면
240 - 253 (14page)

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실리콘알콕사이드는 실리카섬유와 박막재료 및 각종 세라믹스의 합성원료로써 필수적인 물질이 되었으며, 최근에는 16MD램 이상의 초고도 전자제품의 VLSI용 박막 원료로 각광을 받게 되면서 그 중요성이 더한층 강조되고 있다. 따라서 본 본문에서는 실리콘알콕사이드의 각종 합성방법과 반응기구 및 응용분야 등을 요약 정리하고, 실리콘알콕사이드 합성에 관한 본 연구팀의 연구결과 및 문제점을 간략하게 소개하였다.

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