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자료유형
학술저널
저자정보
오재열 (고등기술연구원 전자재료연구실) 조영래 (고등기술연구원 전자재료연구실) 김희수 (고등기술연구원 전자재료연구실) 정효수 (고등기술연구원 전자재료연구실)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제8권 제9호
발행연도
1998.1
수록면
871 - 875 (5page)

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사진식각 공정으로 종횡비가 매우 큰 유리 미세구조물을 제작하였다. 미세구조물의 제작에는 압축응력에 강하고 전기적 절연체인 감광성 유리를 사용하였다. 감광성 유리는 석영기판 위에 크롬이 패턴된 마스크를 사용하여 파장이 312nm인 자외선에 노광되었다. $500^{\circ}C$ 이상의 열처리공정을 거친 후 초음파 분위기에서 10%의 불산용액으로 식각함으로써 유리 미세구조물을 제작하였다. 미세구조물의 최종 형상은 감광성 유리의 두께, 마스크 패턴, 자외선 노광조건 및 식각조건에 크게 의존하였으며, 종횡비가 30이상인 스트라이프 구조의 유리 미세구조물을 제작할 수 있었다.

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