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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이민석 (고려대학교 공과대학 금속공학과) 허주열 (고려대학교 공과대학 금속공학과) 김동환 (고려대학교 공과대학 금속공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제8권 제5호
발행연도
1998.1
수록면
383 - 393 (11page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

근접승화법을 이용한 CdTe박막의 성장에 관한 연구
이민석 ,  허주열 ,  김동환 한국재료학회지 1998.01 학술저널

1997

근접승화법(CSVT)을 이용한 카드뮴텔루라이드(CdTe)박막의 제조와 열처리 효과에 관한 연구
이민석 ,  김동환 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료

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고효율 박막형 태양전지 제조를 위해 근접승화법에 의한 CdTe박막의 성장을 연구하였다. 내부압력의 변화, 기판과 소스 사이의 거리, 기판과 소스의 온도 등의 변수가 성장속도와 미세구조에 미치는 영향을 관찰했다. 내부압력의 변화에 따라 성장과정이 diffusion limited transport와 sublimation limited transport로 나뉘어지며, 이 두가지 성장방식의 분기점은 기체분자의 평균자유행정거리에 의해 결정되었다. 소스의 형태에 따라서 박막의 성장속도와 미세구조는 큰 차이를 보였으며, 실험을 통해 이러한 차이가 증발표면의 온도강하에 의한 현상임을 규명하였다. 기판과 소스사이의 간격에 따른 성장속도를 해석하기 위해 일방향열해석을 통해 기판과 소스표면의 온도를 계산하였다. X선 회절분석과 표면형상의 관찰을 통해 성장속도가 박막의 미세구조에 영향을 줌을 알았다. 기판의 온도가 증가하면서 박막성장시 (111)로의 우선성장방위가 관찰되었지만 고온이 되면서 다시 random orientation의 경향을 나타냈다.

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