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학술저널
저자정보
김재선 (한양대학교 세라믹공학과) 신동욱 (한양대학교 세라믹공학과) 정선태 (삼성전자 광소재 사업팀) 송영휘 (삼성전자 광소재 사업팀)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제11권 제5호
발행연도
2001.1
수록면
385 - 392 (8page)

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집적형 광증폭기는 대량생산이 용이하고. 단일 칩에 다기능의 광소자를 집적할 수 있다는 장점 때문에 활히 연구되어져 왔다. 본 연구에서는 수동형 집적광소자의 제작에 사용되는 화염가수분해증착법 (FHD)을 이용하여 실리콘 (Si) /실리카 ($SiO_2$) 광도파막을 제작하고, 이 박막에 Solution Doping 법을 이용하여 $Er^{3+}$ 를 첨가하여 광증폭 매질을 제작하는 연구를 수행하였다.

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