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학술저널
저자정보
김사라 (성균관대학교) 조운조 (한국과학기술연구원) 박재관 (한국과학기술연구원) 이용철 (성균관대학교)
저널정보
한국결정학회 한국결정학회지 한국결정학회지 제12권 제3호
발행연도
2001.1
수록면
177 - 181 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2001

Si(100) 기판 위에 코팅된 $TiO_2$박막의 결정구조와 초친수 특성
김사라 ,  조운조 ,  박재관 외 1명 한국결정학회지 2001.01 학술저널
Si(100) 기판 위에 코팅된 $TiO_2$ 박막의 결정구조와 초친수 특성
김사라 ,  조운조 ,  박재관 외 1명 한국결정학회 학술연구발표회 2001.01 학술대회자료

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TiO₂박막의 초친수성 특성을 열처리에 따른 박막의 결정구조 변화와 연관지어 연구하였다. 박막은 Sol-Gel법을 이용하여 실리콘 (100)웨이퍼 위에 제조하였다. 1차 소결후, 500℃에서 후열처리한 시편은 anatase 상을, 1000℃에서 열처리한 시편은 rutile 상을 가지며 그 중판 온도인 750℃에서 열처리한 경우는 anatase와 rutile상이 혼재 되어 있다. 이 후열 처리한 시편들은 UV를조사하지 않아도 친수성을 보였고, 특히 750℃에서 열처리한 시편은 5°이하의 초친수성을나타내었다. 친수성을 가지는 시편들은 암실처리 중 서서히 퇴화되어 소수성을 띄게되지만, UV를 조사하면 1시간 이내에 급격히 초진수성을 회복하는 우수한 특성을 보였다.

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