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We have treated polyester fabric with $CF_4,\;C_2F_6,\;SF_6\;and\;C_3F_6$ glow discharge plasmas to develop functional fabrics which preserve moisture transportation and water proofing nature. Modified properties were evaluated by water vapor permeation rate and breakthrough water pressure. The change of surface morphology was observed by SEM. Fiber interstice of the plasma treated fabric was calculated as $0.32{\mu}{\textrm}{m}$, and this value was sufficiently ideal as water repellent material. The moisture transportation of ${CF_4}-treated$ fabric was good as much as untreated fabric, and those of $C_2$F(sub)6-treated, SF(sub)6-treated fabrics were reduced by 1~3%, and that of ${C_3F_6}-treated$ fabric was reduced by 15%. The best treatment condition were 0.06 torr 120 seconds in $CF_4$, 0.05 torr 30 seconds in $SF_6$, 0.08~0.15 torr 90 seconds in $SF_6$ and 0.1 torr 45 seconds in $C_3F_6$ respectively. The grade of moisture transportation effect was $CF_4>C_2F_6>SF_6>>C_3F_6$, and water proofing effect was $C_2F_6{\approx}CF_4>C_3F_6>SF_6$. It was observed by SEM that the thin film was formed on the surface of the treated substrate by the fluorocarbon plasma treatment.
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