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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김진오 (숭실대학교 공과대학 기계공학과)
저널정보
한국음향학회 한국음향학회지 한국음향학회지 제19권 제5호
발행연도
2000.1
수록면
41 - 45 (5page)

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단결정 초격자 다층박막의 유효탄성계수를 표면탄성파 전파속도에 근거하는 두 가지 방법에 의하여 결정하였다. 첫째 방법은 구성층의 탄성계수로부터 초격자의 유효탄성계수를 계산하는 공식을 사용한다. 계산된 유효탄성계수로 계산한 기판 위 박막의 표면탄성파 전파속도와 선집속 초음파현미경으로 측정한 표면탄성파 전파속도를 비교하여 그 유효탄성계수를 검증한다. 둘째 방법은 선집속 초음파현미경으로 측정한 표면탄성파 전파속도 분산 데이터로부터 역산하여 초격자 다층박막의 유효탄성계수를 결정한다. 두 가지 방법을 TiN/NbN 초격자 다층박막에 적용하여 서로 잘 일치하는 결과를 얻었다.
#표면탄성파 #유효탄성계수 #초격자 다층박막 #선집속 초음파현미경 #SAW #surface acoustic wave) #Effective elastic constants #Superlattice film #LFEM #line-focus acoustic microscope)

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