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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박봉모 (LG실트론, 단결정기술팀)
저널정보
한국결정학회 한국결정학회지 한국결정학회지 제11권 제4호
발행연도
2000.1
수록면
207 - 211 (5page)

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In a Czochralski silicon single crystal, the relation between the growth twin and the crystal morphology was investigated. The growth twin is nucleated on the {111} facet planes near the growth ridges. When a {111} growth twin is formed in the <100> silicon crystal, the growth ridge where twin is nucleated will continuous through the twin plane. Other two ridges at the 90。 apart will be displaced about 33° and be deformed to facets. The ridge on the opposite side of twin nucleation will disappear by forming a slight hill. Because the growth ridges of silicon is due to the {111} planes, the variation in the growth ridge formation can be predicted clearly by considering the change of the {111} plane traces in the stereographic projection after twining.

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