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저자정보
이은구 (조선대학교 금속재료공학부[BK 21 핵심분야 지능재료 개발 및 산업화팀]) 이종국 (조선대학교 금속재료공학부[BK 21 핵심분야 지능재료 개발 및 산업화 팀]) 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과) 김선재 (한국원자력연구소 원자력재료기술개발팀)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제10권 제5호
발행연도
2000.1
수록면
360 - 363 (4page)

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다양한 Zr/Ti 비율을 갖고 있는 강유전체 PZT박막을 졸-겔 법으로 증착하였고 상부 백금전극의 제조방법과 열처리온도의 변화에 따라 강유전체 특성을 측정하여 이력곡선의 변형 원인을 조사하였다. Pt/PZT/Pt 캐패시터는 상부 백금전극을 반응성 이온 식각(RIE) 하는 과정에서 생성된 dc plasma 전압에 의하여 양의 방향으로 분극되었고 도메인 계면에 포획된 전하에 의해 내부전장이 발생되었다. PZT 박막은 sputtering으로 상부전극을 증착하는 과정에서 이력곡선의 중간에 잘룩하게 되는 시효현상이 관찰되었다. 상부전극을 제작한 후 열처리는 포획된 전하흫 제거시켜 양호한 이력곡선 특성을 되찾게 하였다. Zr/Ti 비율이 감소함에 따라 내부전장이 증가하였으며 내부전장이 없어지는 열처리온도가 증가하였다.

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