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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정유진 (인하대학교 신소재공학부) 전재삼 (인하대학교 신소재공학부) 성우경 (인하대학교 신소재공학부) 김형순 (인하대학교 신소재공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제5권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
33 - 36 (4page)

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2006

플라즈마 디스플레이 패널의 격벽형성의 에칭 메커니즘
정유진 ,  전재삼 ,  성우경 외 1명 반도체및디스플레이장비학회지 2006.01 학술저널
플라스마 디스플레이 패널의 격벽 형성의 에칭 메커니즘
정유진 ,  전재삼 ,  성우경 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

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To produce a fine structure with uniform surface of barrier ribs in PDP, acid etching process has been used in manufacture process. It is necessary to understand the mechanism of etching, particularly on the interface of ceramic fillers and matrix glass. We investigated the effect of ceramic fillers (ZnO, $Al_2O_3$) on the microstructure of borate glass system to find an etching mechanism of barrier ribs. The barrier ribs was etched with several steps, dissolving a small amount of residual glass, taking out alumina fillers, and removing a cluster type of ZnO fillers and glass matrix.
#PDP #Plasma Display) #Etching #Filler #Barrier Rib #Interface

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