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학술저널
저자정보
김인선 (한국표준과학연구원 양자연구부) 허남회 (한국표준과학연구원 양자연구부) 박용기 (한국표준과학연구원 양자연구부)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제9권 제1호
발행연도
1999.1
수록면
25 - 29 (5page)

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We have developed a laser molecular beam epitaxy system for the layer-by-layer growth of oxide thin films. Using this system, we could grow and control oxide thin films of LaAlO$_3$in a molecular layer epitaxy mode on the atomically flat SrTiO$_3$ substrate with a LaAlO$_3$single crystal target. Very clear RHEED oscillations were observed during to growth of a LaAlO$_3$ film for a long period under the optimized conditions of substrate temperature at $650^{\circ}C$, oxygen pressure at 1$\times$10\ulcorner torr, and an incident laser fluence of 4.6J/$\textrm{cm}^2$. The height of mono-layer-LaAlO$_3$ film grown during one period of RHEED intensity oscillation was 3.8$\AA$.

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