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학술대회자료
저자정보
오한석 (연세대학교) 정성민 (연세대학교) 이홍림 (연세대학교)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2002년도 춘계 학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
2002.1
수록면
109 - 109 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2002

반도체 실리콘의 웨이퍼링 및 정밀연삭공정후 잔류한 기계적 손상에 관한 연구
오한석 ,  이홍림 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2002.06 학술저널
반도체 실리콘재료의 정밀연삭을 위한 공정변수와 연삭후 표면에 형성된 wheel pattern과의 관계
오한석 ,  박성은 ,  이홍림 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2002.02 학술저널
반도체 실리콘 재료의 정밀연삭가공조건에 따른 손상거동
오한석 ,  정성민 ,  이홍림 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

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