R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition

Yong Tae Kim ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching for 3-D Nano-Patterning Processes

김우희 ,  Stacey F. Bent

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

원자층 증착 방법으로 증착된 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  이연승 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

The Influence of Buffer Layer and TCO Layer Deposition Temperature on Characteristics of Cu₂O Thin Film Solar Cell

Jae Yu Cho ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .09

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films

한지원 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

원자층 증착공정의 유연성 태양전지 제조로의 응용

송근수 ,  유경훈

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .05