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저자정보
정태봉 (인천대학교 물리학과) 장주억 (인천대학교 물리학과) 강준희 (인천대학교 물리학과)
저널정보
한국초전도학회 한국초전도학회 High Temperature Superconductivity 한국초전도학회 1999년도 High Temperature Superconductivity Vol.IX
발행연도
1999.1
수록면
43 - 47 (5page)

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Instead of using KrF excimer lasers( ${\lambda}$ = 248 nm) in depositing oxide thin films, as in the most of the laboratories in Korea, we have used an ArF excimer laser( ${\lambda}$ = 197 nm) which has a shorter wavelength. By using a beam which has a shorter wavelength, we could obtain higher quality and smoother surface YBCO thin films. We fabricated YBCO thin films with the various substrate temperature conditions and analyzed the characteristics of these films. We also studied the charateristics of the films fabricated under the various conditions of the power of laser and the oxygen pressure. The characterization tools used in this work were a transport measurement setup, an XRD , and a SEM. We also fabricated STO/YBCO multilayers to use in SFQ devices fabrication. XRD patterns of the multilayers showed that the multilayer films were grown epitaxially.

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