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학술대회자료
저자정보
신중현 (부경대학교 산업대학원) 류상민 (부경대학교 산업대학원) 이동훈 (부경대학교 안전공학과)
저널정보
한국안전학회 한국안전학회 학술발표회 한국안전학회 1997년도 추계 학술논문발표회 논문집
발행연도
1997.1
수록면
245 - 250 (6page)

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오늘날 정전기에 의한 미립자 오염은 반도체 공정의 미세화기술에 대해 큰 장해가 되는 것은 물론이거니와 약간의 미립자에 의한 오염이라 하더라도 제품의 특성에 악영향을 주는 원인이 된다. 정전기는 공기청정화 기술의 하나로써 응용되고 있는 반면 크린룸 중에서 대전물체가 존재하면 이것에 분진이 흡인되어 부착하기 때문에 오염의 원인이 되기도 한다. (중략)

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