수직형 LED 소자의 광출력 향상을 위한 나노 패터닝 공정

변경재; 박형원; 조중연; 이성환; 이헌

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 변경재 (고려대학교 신소재공학과) 박형원 (고려대학교 신소재공학과) 조중연 (고려대학교 신소재공학과) 이성환 (고려대학교 신소재공학과) 이헌 (고려대학교 신소재공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회

발행연도: 2010.1

수록면: 322 - 322 (1page)

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본 연구에서는 고출력, 고휘도를 위해서 개발되고 있는 수직형 LED소자의 광출력향상을 위한 나노 패터닝 공정을 진행하였다. 수직형 LED는 기존 측면형 LED에 비해서 열방출 특성이 우수하고 대면적 칩으로 제작이 가능하기 때문에 높은 광출력이 필요한 조명 분야로의 적용이 가능하다. 하지만 수직형 LED 역시 기존 측면형 LED와 마찬가지로 질화갈륨 및 외부 공기와의 계면에서 전반사가 심하기 때문에 광추출효율이 낮은 문제점이 있으며 이를 해결하는 것이 큰 이슈가 되고 있다. 이를 해결하기 위해서 광결정 패턴을 LED 소자에 형성하여 광추출효율을 향상시키려는 연구가 활발히 진행되고 있으나 아직까지 수직형 LED 웨이퍼 전면적에 균일한 패턴을 형성할 수 있는 기술 개발이 미진한 상황이다. 본 연구에서는 유연 고분자 몰드를 이용한 대면적 나노 임프린팅 및 나노 프린팅 기술을 통해서 2 inch 수직형 LED 웨이퍼 전면적에 균일한 패턴을 전사하는 공정을 진행하였다. 구체적으로는 나노임프린트 및 건식식각 공정을 통해서 수직형 LED의 n형 질화갈륨 층에 높은 가로세로비의 광결정 패턴을 형성하였으며 이를 통해서 약 40% 정도의 광출력이 향상되었다. 또한 고 굴절률의 산화아연 나노 패턴 형성공정을 대면적 LED 기판에 시도하였다.

#수직형 LED #나노임프린트 리소그래피 #광결정 패턴

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