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Hong, Won-Eui (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik Univ.) Lee, Joo-Yeol (EnSilTech Corporation) Park, Doo-Jung (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik Univ.) Ro, Jae-Sang (Dept. of Materials Science and Engineering, Hongik Univ.) Ahn, Ji-Su (Samsung SDI Co., LTD.) Lee, Il-Jeong (Samsung SDI Co., LTD.) Kim, Sung-Chul (Samsung SDI Co., LTD.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2008.1
수록면
109 - 112 (4page)

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The grain size of JIC poly-Si can be varied from few tens of nanometers to the one having the larger grain size exceeding that of excimer laser crystallized (ELC) poly-Si according transmission electron microscopy. JIC poly-Si exhibits an excellent uniformity with regards to the grain size. We report here the blanket crystallization of the large area using the $2^{nd}$ generation glass substrate.

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