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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
강동균 (한국과학기술원 기계공학과 Nano Opto-mechatronics 연구실) 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과 [나노스코프시스템즈&#12828)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2006.1
수록면
1 - 4 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

공초점 자가 간섭 현미경을 이용한 분해능 향상
강동균 ,  권대갑 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

2002

형광 공초점 주사 현미경의 측정 강도 향상을 위한 반사 광학계의 제안 및 설계
강동균 ,  서정우 ,  권대갑 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2002.05 학술대회자료

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공초점 자가 간섭 현미경은 측정 광학계에 복굴절 물질을 사용하여 반사된 빛에 대해 간섭 현상을 일으키는 것을 특징으로 한다. 이 간섭을 자가 간섭이라고 부르는데, 이는 시편의 한 점에서 반사되어 나온 빛이 간섭을 일으키기 때문에 붙여진 이름이다. 공초점 자가 간섭 현미경의 점 확산 함수는 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수와 자가 간섭의 곱으로 나타나며, 자가 간섭의 주기가 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수의 중심폭보다 작은 경우 점 확산 함수의 중심폭이 작아져서 수평 방향으로의 분해능이 향상되게 된다. 이러한 분해능 향상 정도를 측정하기 위하여 지름이 100nm 인 금으로 된 비드를 사용하였다. 측정된 결과는 전산모사한 결과와 잘 일치하며 공초점 자가 간섭 현미경에서 2배의 분해능 향상을 보여준다.

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