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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
심재홍 (한국산업기술대학교 메카트로닉스공학과) 차동혁 (한국산업기술대학교 메카트로닉스공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
발행연도
2005.1
수록면
89 - 95 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

거리센서 및 힘센서를 이용한 정밀 베어칩 장착시스템의 힘 제어
심재홍 ,  조영임 한국지능시스템학회 학술발표 논문집 2005.11 학술대회자료
베어 칩 정밀 장착 시스템 설계 및 제어
심재홍 ,  차동혁 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2005.01 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서 베어 칩 장착을 위한 새로운 시스템을 개발하였다. 새롭게 제안된 시스템은 안정된 힘 제어를 위한 매크로/마이크로 위치제어 시스템을 가지고 있다. 매크로 액츄에이터는 장착 시스템의 전반적인 위치 이동을 하고, 마이크로 액츄에이터는 베어 칩과 인쇄회로기판사이에 발생할 수 있는 과도한 접촉력을 줄이기 위해 정밀 위치제어를 수행하는 데 이용된다 제안된 시스템의 성능을 평가하기 위해 매크로 액츄에이터 만으로 구성된 베어 칩 장착 시스템과 비교하였다. 다양한 장착속도, 인쇄회로기판의 강성 등과 같은 장착 환경을 다양하게 변화시켜 가면서 시스템의 성능을 평가하고자 하였다. 결과적으로 베어 칩의 안정된 장착을 위한 시스템으로서의 효능을 보여 줄 수 있었다.

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