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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
송상옥 (전북대학교 기계공학과) 송민규 (전북대학교 기계공학과) 김태화 (전북대학교 기계공학과) 김영권 (전북대학교 기계공학과) 김근주 (전북대학교 기계공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
발행연도
2005.1
수록면
84 - 88 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

직$\cdot$병렬 회로로 금속배선된 포토마스크로 설계된 백색LED 조명램프 제조 공정특성 연구
송상옥 ,  김근주 반도체및디스플레이장비학회지 2005.01 학술저널
직${\cdot}$병렬 회로의 백색 LED 조명램프 금속배선용 포토마스크 설계 및 제작
송상옥 ,  송민규 ,  김태화 외 2명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2005.01 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 백색광원용 조명램프에 필요한 고밀도로 집적된 LED 어레이를 제작하기 위하여 반도체제조 공정에 필요한 포토마스크를 AutoCAD 상에서 설계하였으며 레이저 리소그래피 장비를 이용하여 포토마스크를 제작하였다. 웨이퍼상에 LED칩을 개별적으로 제작한 후 이들을 직렬 및 병렬로 금속배선하여 연결하였다. 특히 AutoCAD로 각 공정의 포토마스크 패턴을 설계 작업한 후 DWG 파일을 DXF 파일로 변환하여 레이저빔으로 스캔닝하였다. 이를 소다라임 유리판 위에 크롬을 증착한 후 각 패턴에 맞추어 식각 함으로써 포토마스크를 제작하였다. 또한 2인치 InGaN/GaN 다중 양자우물구조의 광소자용 에피박막이 증착된 사파이어 웨이퍼에 포토마스크를 활용하여 반도체 제조공정을 수행하였으며, 금속배선된 백색LED램프를 제작하였다.

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