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고중혁 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹) 송재성 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹) 홍원표 (한국생산기술연구원 나노가공팀) 최헌종 (한국생산기술연구원 나노가공팀) 정순종 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2004.1
수록면
263 - 267 (5page)

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This study presents the combined effect of electric field application and mechanical compressive stress loading on deformation in a multilayer ceramic actuator, designed with stacking 0.2($PbMn_{1/3}Nb_{2/3}O_{3}$)-0.8($PbZr_{0.475}Ti_{0.525}O_{3}$) ceramics and Ag-Pd electrode, alternately. The deformation behaviors were attributed to relative $180^{\circ}$domain, determined by pre-loaded compressive stress and electric field. The non-linearity of piezoelectricity and strain are dependent upon the young's modulus resulting from the domain reorientation.

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