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저자정보
신동식 (한국기계연구원 정보장비연구센터) 이제훈 (한국기계연구원 정보장비연구센터) 서정 (한국기계연구원 정보장비연구센터)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 한국레이저가공학회 2006년도 추계학술발표대회 논문집
발행연도
2006.1
수록면
96 - 102 (7page)

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In this study, manufacturing of polymer master, PDMS(poly dimethylsiloxane) transfer mold, and mold insert was investigated for laser LIGA(LIthography Calvanoformung Abformtechnik). Initially, ablation by excimer laser radiation was used successfully to make 3-D microstructure of PET. After then, the PDMS transfer mold was replicated using ablated PET. Finally, epoxy resin tooling on replicated PDMS transfer mold was executed for making mold insert. From these facts we can conclude that excimer laser ablation of polymer and fabricaiton of PDMS transfer mold are reasonable tools to substitute for X-ray lithography of LIGA process in microstructuring.
#엑시머레이저 #금형 #트랜스퍼 몰드 #모형 #래피드 툴링 #excimer laser #mold insert #transfer mold #master #rapid tooling

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