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학술대회자료
저자정보
심기덕 (한국전기연구원) 진홍범 (한국전기연구원) 최석진 (주]덕성) 김경한 (주]덕성) 한호한 (주]덕성) 김형진 (주]덕성) 이봉근 (주]덕성) 권영길 (한국전기연구원)
저널정보
한국초전도저온학회 한국초전도저온공학회 학술대회 한국초전도저온공학회 2002년도 학술대회 논문집
발행연도
2002.1
수록면
374 - 377 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2002

실리콘 웨이퍼 성장용 초전도 마그네트의 제작 및 성능평가
심기덕 ,  최석진 ,  김경한 외 5명 대한전기학회 학술대회 논문집 2002.07 학술대회자료
단결정 성장용 초전도 마그네트의 제작 및 성능평가
심기덕 ,  진홍범 ,  최석진 외 5명 한국초전도저온공학회 학술대회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Magnetic field is necessary to control the convection of melted silicon and to improve the quality of the wafer in the 12inch silicon wafer growing process. Nowadays, superconducting magnet is used in this process. We fabricated and tested a saddle shaped superconducting magnet for 8inch silicon wafer growing system. And the protection circuits for HTS current lead and superconducting coil are designed and manufactured. In this paper, their manufacturing process and test results are introduced.

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