6, 7세대 TFT-LCD 공장의 노광기 진동 저감 대책에 관한 연구

이홍기; 박해동; 백재호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이홍기 박해동 백재호

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집

발행연도: 2003.1

수록면: 68 - 77 (10page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (6)

2005

실험적 방법을 이용한 TFT-LCD 정밀 검사 장비의 진동 허용 규제치 평가 및 진동 저감 대책

이홍기 , 박상곤 , 전종균 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2005.01 학술대회자료

2003

6, 7세대 TFT-LCD 공장의 노광기 진동 저감 대책에 관한 연구

이홍기 , 박해동 , 백재호 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

2002

고정밀 장비의 진동허용규제치에 대한 시간 및 주파수 영역에서 나타나는 불일치 문제에 관한 연구

이홍기 , 김강부 , 백재호 한국반도체장비학회지 2002.01 학술저널

2001

고정밀 장비의 진동허용규제치에 대한 시간 및 주파수 영역에서 나타나는 불일치 문제에 관한 연구

이홍기 , 김강부 , 전종규 외 1명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2001.11 학술대회자료

1996

주파수 응답함수를 이용한 고정밀 장비의 진동허용규제치 결정기법에 관한 연구

이홍기 , 김두훈 , 김사수 소음·진동 1996.06 학술저널

1995

주파수 응답함수를 이용한 정밀장비의 진동허용규제치에 관한 연구

이홍기 , 박해동 , 최현 외 1명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 1995.11 학술대회자료

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TFT-LCD 모니터 및 TV의 핵심부품인 TFT/Color Filter를 제조하는 공장라인에서 제품의 품질에 중요한 역할을 하는 것은 유리기판에 TFT와 Color Filter을 형성시키는 노광공정(Exposure)이다. 이러한 TFT/Color Filter를 생산하는 공정내에서 노광기는 핵심기술이므로 진동에 대하여 엄격하게 관리되어지고 있다. 그리고, TV 및 TFT-LCD 모니터의 크기가 큰 것을 사용자의 요구로 TFT/Color Filter 생산 공장은 세대가 거듭될수록 사용되어지는 유리기판의 크기도 따라서 커지고 있다. 이러한 유리기판의 크기 증가는 공정라인에서 진동에 더욱더 취약해지는 결과를 초래하므로 보다 엄격하게 진동관리가 필요하게 된다. 이에, 본 논문에서는 기존 세대인 1～5세대 TFT-LCD 공장 현장에서 노광기의 진동실태를 수집하여 파악하고 Maker에서 제시하는 자료와 비교/평가하고, 문제점을 확인한다. 이를 기초로 수정/보완되어야 할 사항을 검토하며, 차세대인 6&sim;7세대 노광기에 대한 진동저감 대책을 위한 시스템을 설계하는 절차서에 대한 예를 들었으며, 최적의 진동저감 대책에 대한 설계안의 방향을 제시하였다.

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이홍기

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주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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박해동

소속기관 한국반도체디스플레이기술학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 6

백재호

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논문수 6 이용수 30

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