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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김기운 (한국기술교육대학교 기계공학과) 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) 곽승기 (삼성전자[주]) 박만호 (SIT[주])
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
35 - 41 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

반도체 제조라인의 냉수 시스템 효율성 증대에 관한 연구
김기운 ,  김광선 ,  곽승기 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2004.01 학술대회자료

2003

반도체 제조라인의 냉각 시스템 효율성 증대에 관한 연구
김기운 ,  김광선 ,  곽승기 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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반도체 제조라인의 유틸리티 분야에 국내 기술이 도입되고 이에 따른 관리시스템 구축의 중요성이 부각되고 있으며 유틸리티 시스템의 한 부분인 냉각 시스템의 효율성 증대에 관심을 보이고 있다. 본 연구에서 펌프의 효율 계산 프로그램을 NUMS(New Utility Management System)에 반영하고 현재 가동중인 시스템인 NUMS와 같은 조건 하에서 정상상태 유동해석을 통하여 각 구성 요소에서의 유량 및 압력을 제공할 수 있는 시스템을 구현 하였고 NUMS와 압력비교를 하였다. 또한 효율성 증대를 위해 적절한 By-pass 밸브의 개도와 펌프 1대를 줄일 수 있는 결과를 얻었다. 이 결과는 차후 운전 및 관리의 효율성 증대와 에너지 절감을 위한 자료로 이용하고자 한다.

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