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저자정보
윤한경 (호서대 벤처전문대학원) 임성락 (호서대 컴퓨터공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
4 - 7 (4page)

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본 연구에서는 반도체 장비 모니터링을 위하여 로컬 시스템, 서버 시스템, 클라이언트 시스템으로 임베디드 시스템으로 부분 구성하여 클라이언트/서버 개념에서 취약한 안정성, 시스템 관리에 따른 문제점, 원가 상승과 설치 공간의 문제점을 개선 및 보완하였다. 본 연구에서는 반도체 장비 모니터링 시스템의 안정성 확보를 위한 임베디드 모니터링 시스템의 하드웨어와 이를 제어하기 위한 소프트웨어 핵심 기술 개발이며, 이를 위해 임베디드 모니터링 시스템의 핵심이 되는 감시/제어용 하드웨어 모듈과 임베디드 운영체제, 부가적인 관련 응용프로그램을 개발한다.

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