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저자정보
Ryu, Ho-Jin (Advanced Materials Division, Korea Research Institute of Chemical Technology) Yu, Hyung-Kyun (Advanced Materials Division, Korea Research Institute of Chemical Technology) Saito, Fumio (Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University) Lee, Byuung-Il (UNISEM Co., Ltd) Chang, Ho-Jung (Dept. Electronics Engineering, Dankook University)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2002년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2002.1
수록면
75 - 78 (4page)

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CNTs have been grown by the thermal CVD process in which $C_{2}H_{2}$ gas was deposited on the Fe - $Al(OH)_3$ mixture pretreated by mechanochemical treatment with a high energy mixer mill. As the duration time of grinding fer $Fe-(Al(OH)_3$ mixture by the mixer mill increased, amorphous $Al(OH)_3$ and more smaller Fe particles agglomerated into spheres. With unground and ground mixtures of $Fe-Al(OH)_3$, CNTs were grown at $700^{\circ}C$. As a result, CNTs grown on ground mixtures have more uniform diameter and morphology than those of unground mixture. The characterization of $Fe-Al(OH)_3$ mixture and as-grown CNTs were done by XRD, SEM and TEM.

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