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저자정보
박동원 ([주]미래엔지니어링) 김범수 ([주]미래엔지니어링)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2002년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2002.1
수록면
1 - 2 (2page)

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FPD(LCD, PDP)와 Wafer(6-12인치)제조공정에서 사용되고 있는 자동화 이송 장비들의 경우, 높은 생산성과 수율을 위해 금속제의 핸드보다는 세라믹이나 복합재료(CERP)와 같이 가벼운 고강도 고강성의 소재를 사용하고 있다. 그러나 세라믹의 경우는 비안정성이나 고가격과 같은 문제점들이 있어서 사용이 제한되어 있다. 이에 비해 복합재료핸드는 반영구적인 수명과 우수한 기능으로 인해 그 사용이 점차 확대되고 있는 추세이다. 따라서, 본 연구에서는 복합재료핸드에 다양한 방법으로 기능성박막을 코팅하여 이에 따른 특성변화를 관찰하고자 하였다.

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