Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

다결정 실리콘 씨앗층에서의 Hot-wire CVD 방법을 이용한 에피택셜 실리콘 성장에 관한 연구

이승렬 ,  안경민 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Hot Wire CVD를 이용한 다결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Hot Wire CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 ( λc-Si : H ) 박막 증착 ( The Hydrogenated Micro-crystalline Silicon ( λc-Si : H ) Films Deposited by Hot Wire CVD Method )

이정철 ,  송진수 ,  박이준

전자공학회논문지-SD

2000 .08

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

실리콘 문화 96

유영욱

CAD 및 VLSI 설계연구회지

1996 .01

열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Characterization of μc-Si:H Thin-film Solar Cells by Hot-wire CVD

J. C. Lee ,  Y. S. Chung ,  S. K. Kim 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

실리콘 에칭 모델링

구민

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조

한길진 ,  김영철 ,  장영철 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

폐실리콘 슬러지로부터 실리콘 분말의 분리 회수

장희동 ,  장한권 ,  서용재 외 3명

한국자원리싸이클링학회 학술발표대회

2005 .01

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성 ( Amorphous Silicom Film Formation by Laser CVD )

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

열선 CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘 박막 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학 증착장비

김창조 ,  최윤 ,  김도천 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Hot Wire CVD를 이용한 다결정 Si 박막의 고속 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

3실 광 CVD법에 의한 고효율의 비정질 실리콘 태양전지 제작

임굉수

대한전자공학회 학술대회

1994 .01