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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
이동훈 (부경대학교 공과대학 안전공학과) 박훈규 (부경대학교 공과대학 산업대학원)
저널정보
한국안전학회 한국안전학회 학술발표회 한국안전학회 2003년도 춘계 학술논문발표회 논문집
발행연도
2003.1
수록면
167 - 172 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2014

바 형태 정전기제거장치의 정전기제거성능 향상을 위한 연구 (1)
이동훈 ,  최동수 ,  정용철 외 1명 한국안전학회지 2014.01 학술저널
바 형태 정전기제거장치의 정전기제거성능 향상을 위한 연구 (2)
이동훈 ,  최동수 ,  김상민 외 1명 한국안전학회지 2014.01 학술저널

2003

기류방출형 정전기제거장치의 개발에 관한 연구
이동훈 ,  박훈규 한국안전학회 학술발표회 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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액정판넬(LCD) 및 반도체 제조공정에 있어서 정전기 발생으로 인하여 미세한 먼지가 LCD 및 반도체 웨이퍼에 부착되거나, 정전기 방전에 의해 반도체소자 및 LCD 유리기판상의 패헌의 파괴를 야기하여 제품의 수율을 저하시키고 제조원가를 상승시키는 주요한 요인이 된다. 현재 이러한 제조공정에서 정전기를 위한 대책으로 코로나방전에 의한 이온바(Ion Bar) 및 이온브로어(Ion Blower)를 제전설비로 사용하고 있으나, 이 장치는 코로나 방전에 의한 이온을 발생시키고 이온화된 공기를 불어 내기 위하여 팬을 사용하여 공기를 대류 시킨다.(중략)

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