Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 SiO₂, Nb₂O₅ 광학 박막의 미세구조에 따른 광학적 특성

김동원; 손은태; 임다솔; 김도희; 김동주; 조서현

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저자정보: 김동원 (경기대학교) 손은태 (경기대학교) 임다솔 (경기대학교) 김도희 (경기대학교) 김동주 (경기대학교) 조서현 (경기대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019년도 한국표면공학회 춘계학술대회 및 특별강습회

발행연도: 2019.5

수록면: 124 - 124 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2019

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성

김동원 한국표면공학회지 2019.08 학술저널

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 SiO₂, Nb₂O₅ 광학 박막의 미세구조에 따른 광학적 특성

김동원 , 손은태 , 임다솔 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019.05 학술대회자료

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링 공정 변수에 따른 SiO₂, TiO₂ 광학 박막의 특성

김동원 , 김도희 , 양지혜 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019.05 학술대회자료

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손은태

소속기관 경기대학교

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논문수 3 이용수 40

임다솔

소속기관 경기대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 3 이용수 133

Kim Do-Hee

소속기관 Department of Chemistry College of Convergence and Integrated Science Kyonggi University Suwon Kore

주요연구분야 의약학 > 기초의학 > 예방의학·직업환경의학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 10 이용수 137

김동주

소속기관 우석대학교

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논문수 20 이용수 2,726

조서현

소속기관 한국과학기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 6 이용수 343

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