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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정홍식 (Hongik University)
저널정보
한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제24권 제2호
발행연도
2020.6
수록면
38 - 47 (10page)

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본 논문에서는 Si/SiO₂/Si₃N₄/SiO₂ 적층 구조를 갖는 Si3N4 립-광도파로 기반의 다중모드 간섭기를 활용하는 집적광학 소산파 바이오센서에 대해서 서술하였다. 다중모드 간섭기의 이론적 배경에 대해서 검토하였고, 전산해석을 통해서 다중모드 간섭기 구조와 설계과정을 제시하였다. 다중모드 간섭기의 제원 (길이, 폭)이 소자 성능에 어떻게 영향을 미치는지 분석하였다. 분석물질의 굴절률 변화가 다중모드 간섭기의 모드 패턴형성 위치와 출력 광파워에 많은 영향을 미치고 있음을 확인하였고, 이 특성을 적용할 경우 집적광학 바이오센서로 활용 가능함을 입증하였다.

목차

Abstract
요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 다중모드 Si₃N₄ 립-광도파로 해석
Ⅲ. 다중모드 Si₃N₄ 립-광도파로의 전산해석
Ⅳ. 결론
References

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