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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제3호
발행연도
2020.1
수록면
208 - 213 (6page)

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본 연구에서는 에어로졸 데포지션 공정을 이용하여 출발 원료의 입자 및 사이즈가 BaTiO3 코팅층 성막 특성 및 유전 특성에 미치는 영향을 분석하였다. 입자 사이즈(0.45 um, 0.3 um)및 밀링법이 다른 네 가지 타입의 분말을 이용하여 BaTiO3 코팅막을 성공적으로 제조하였으며, 밀링 처리가 된 분말은 고른 입도 분포를 가지며 이에 따라 균일한 에어로졸 및 성막율이 향상되었다. 0.45 um의 입자 사이즈를 가진 코팅막은 더욱 높은 성막율을 보였으며, 표면에 crater가 일부 형성되었지만 평탄한 표면 조도가 얻어졌다. 반면 볼밀 처리된 0.3 um의 입자 사이즈를 통해 증착된 코팅막은 성막율과 표면 조도는 0.45 um에 비해 열세였으나, 상당히 높은 유전율을 나타내었다. 결론적으로 적절히 높은 입자 사이즈가 높은 성막율과 표면조도 개선에 큰 영향을 끼치는 것으로 보이며, 균일한 입도 분포가 유전율 향상에 일부 기여하는 것으로 보아, 입자 사이즈 및 형상 제어를 통해 성막 특성과 전기적 특성을 향상시킬 수 있을 것으로 판단된다.

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J. Akedo / 2006 / J. Am. Ceram. Soc 89:1834 Crossref J. Akedo / 2008 / J. Therm. Spray Technol 17:181 Crossref Y. Imanaka / 2007 / J. Eur. Ceram. Soc 27:2789 Crossref J. M. Oh / 2009 / Jpn. J. Appl. Phys. 48:09KA07 Crossref J. Ryu / 2008 / Appl. Catal., B 83:1 Crossref

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