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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제3호
발행연도
2020.1
수록면
214 - 218 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

졸-겔법으로 성장된 산화아연마그네슘 박막의 전구체의 종류와 농도에 따른 구조적, 광학적 특성 연구
염아람 전자소재공학과 2020.01 학위논문
졸-겔법으로 성장시킨 Mg0.3Zn0.7O 박막의 Mg 전구체의 종류에 따른 광학적⋅구조적 특성에 관한 연구
염아람 ,  김홍승 ,  장낙원 외 2명 전기전자재료학회논문지 2020.01 학술저널

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본 연구에서는 UV-LED와 같은 발광소자의 활성층에 적용할 뿐만 아니라 태양전지, 고이동도 전계효과 트랜지스터, 그리고 전력 반도체 소자까지 다양한 분야에 활용할 수 있는 MgxZn1-xO 박막을 졸-겔법을 사용하여 제작하였다. 박막은 졸-겔 법으로 합성한 ZnO 용액과 Mg0.3Zn0.7O 용액을 Si (100) 기판과 사파이어 기판에 스핀 코팅을 진행하여 성장시켰다. 용액 합성 시에는 Zn 전구체로 Zinc acetate dihydrate를 사용하였고, Mg acetate tetrahydrate와 Mg nitrate hexahydrate 두 종류의 Mg 전구체를 각각 사용하였다. 그리고 제작한 박막들의 광학적, 구조적 특성을 비교하였다. 용매에 대한 Zn 전구체의 몰농도는 0.3M 으로 고정하였고 Mg 전구체의 양은 Mg2+ / Zn2+의 비율이 30%가 되도록 하였다. 광학적 특성은 자외선-가시광 분광광도계(UV-vis spectrophotometer)를 통해 파장대별 투과율을 측정 하였고, 구조적 특성은 엑스선 회절법(x-ray diffraction, XRD)과 투과전자현미경(transmission electron microscope, TEM)을 사용하여 측정하였다. 조성분석은 에너지 분산 엑스선 분광계(energy dispersive X-ray spectrometer, EDS)를 사용하여 분석하였다. Mg0.3Zn0.7O 박막은 Mg 전구체의 종류와 무관하게 첨가한 Mg 전구체의 비율대로 잘 형성되었고, 또한 박막의 c-축이 감소하였으며 밴드갭은 3.56 eV 까지 증가하였다.

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