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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.1
- 수록면
- 1 - 6 (6page)
- DOI
- 10.3795/KSME-A.2020.44.1.001
이용수
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본 연구에서는 상하면이 강체 박막으로 된 절두 피라미드 센싱엘리먼트의 변전 계수에 관한 연구를 수행하였다. 입력 신호의 강도와 그로 인한 변전 효과에 의한 출력을 3차원 구조 해석을 통해서 추정하고 3차원 구조 해석을 통한 변전 계수 추정치와 준 1차원을 통한 변전 계수 추정치를 비교 분석하였다. 여러 가지의 입력 압력에 대해서 이 두 값의 비의 RMS 값은 0.932, 표준 편차는 약 0.0005로 분석되었으며 이는 3차원 구조 해석을 통한 변전 계수가 준 1차원을 통한 변전 계수보다 약 6.8% 적은 것을 의미한다. 또한 3차원 구조 해석을 통한 변전 계수는 높은 선형성을 나타내는 것을 증명하였다. 따라서 3차원 구조 해석을 통한 변전 계수 측정이 센서의 정확도를 높일 수 있으리라 판단한다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 구조 해석
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (19)
참고문헌 신청
Ledermann, N., Muralt, P., Baborowski, J., Forster, M. and Pellaux, J.-P., 2004, “Piezoelectric Pb(Zrx, Ti1?x) O3 Thin Film Cantilever and Bridge Acoustic Sensors for Miniaturized Photoacoustic Gas Detectors,” Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 14, No. 12, p. 1650.
Kryshtab, T., Savkina, R., Sizov, F., Smirnov, A., Kladkevich, M. and Samoylov, V., 2012, “Infrared Radiation Detection by a Piezoelectric Heterostructure at Room Temperature,” Physica Status Solidi (C), Vol. 9, No. 8-9, pp. 1793~1796.
Littrell, R. and Grosh, K., 2013, “Noise Minimization in Micromachined Piezoelectric Microphones,” Proceedings of Meetings on Acoustics, Vol. 19, No. 1, p. 030041.
Shepard, J. F., Chu, F., Kanno, I. and Trolier- McKinstry, S., 1999, “Characterization and Aging Response of the d31 Piezoelectric Coefficient of Lead Zirconate Titanate Thin Films,” Journal of Applied Physics, Vol. 85, No. 9, pp. 6711~6716.
Glynne-Jones, P., Beeby, S. and White, N., 2001, “A Method to Determine the Ageing Rate of Thick-Film PZT Layers,” Measurement Science and Technology, Vol. 12, No. 6, p. 663.
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