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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
곽봉우 (한국생산기술연구원) 김종훈 (충남대학교)
저널정보
한국지능시스템학회 한국지능시스템학회 논문지 한국지능시스템학회 논문지 제29권 제6호
발행연도
2019.12
수록면
494 - 500 (7page)
DOI
10.5391/JKIIS.2019.29.6.494

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본 논문에서는 유연전극의 플라즈마 발생용 전원시스템을 위한 하이브리드 제어 기법에 대해 제안한다. 유연전극에 안정적인 전원 공급을 위해 상용전원인 AC를 DC로 변환하는 역률개선(Power Factor Correction; PFC) 정류단과 DC를 AC로 변환하는 LLC 공진 컨버터로 구성된 2단 구조의 전원시스템을 구성하였다. 낮은 용량의 시스템에서 높은 역률 및 효율 달성이 용이한 임계전도모드(Critical Conduction Mode; CrM) PFC를 사용하였다. CrM PFC의 경우 유사 공진으로 인한 높은 효율 달성을 위해서 인덕터 전류제어에 따른 스위칭 주파수가 가변되며, 빠른 응답성 요구로 인해 디지털 제어 구현에 어려움이 있다. 반면, LLC 공진 컨버터의 경우 유연전극의 경우 사양(길이 및 두께)에 따라 커패시턴스가 변경됨에 따라서 공진주파수가 변경되기 때문에, 통신 및 연산기능을 갖는 디지털 제어기가 적합하다. 본 논문에서는 아날로그 제어 및 디지털 제어 기법을 융합한 하이브리드 제어기는 유연전극의 사양변화에 따라 플라즈마 발생을 위해 안정적으로 공급 할 수 있는 방법이 제안되고 있다. 제안된 하이브리드 제어 알고리즘을 구현하고 실제 부하 실험을 통해 실용성을 검증하였다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 유연전극의 플라즈마 발생용 전원장치
3. 실험을 통한 결과 검증
4. 결론
References

참고문헌 (9)

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