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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.12
- 수록면
- 231 - 236 (6page)
- DOI
- 10.5370/KIEEP.2019.68.4.231
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Currently, mercury lamps are used as light sources in semiconductor and display photo processes. Mercury lamp light sources contain heavy metals, which are environmentally destructive and are entirely imported from Japan. In addition, mercury lamps need to be replaced 12 times a year for one month of service life, resulting in continuous replacement costs. In addition, due to the deterioration of the exposure machine, periodic maintenance is also required, and the environmental burden for waste disposal of the light source is high, and thus, the retrofit to other light sources needs improvement. Therefore, in this paper, we develop a multi-channel control board for photo lithography equipment using laser diode as a method to replace the existing mercury lamp.
목차
Abstract
1. 서론
2. 노광설비용 레이저 다이오드 제어 보드 설계
3. 시제품 제작
4. 결론
References
참고문헌 (6)
참고문헌 신청
Jinho AHN and Sangsul LEE, Principles of Photolithography, Physics & High Technology, Special edition, pp. 1-8, 2011.
Harry J. Levinson, Principles of Lithography, 2nd ed. 2004.
J. F. Ready, “LIA Handbook of laser materials processing,” Magnolia Publishing Inc., pp. 661-665, 2001.
Bae-Kyu Lee, “Multi-channel LD Driver designed for CTP (computer to plate),” Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering, vol. 19, no. 3 pp. 667-673, 2015.
EUVL Projection on Samsung’s Device Roadmap, EUVL Symposium, 2009.
Harry J. Levinson, Principles of Lithography, 2nd ed. 2004.
J. F. Ready, “LIA Handbook of laser materials processing,” Magnolia Publishing Inc., pp. 661-665, 2001.
Bae-Kyu Lee, “Multi-channel LD Driver designed for CTP (computer to plate),” Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering, vol. 19, no. 3 pp. 667-673, 2015.
EUVL Projection on Samsung’s Device Roadmap, EUVL Symposium, 2009.
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