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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제32권 제4호
발행연도
2019.1
수록면
302 - 306 (5page)

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본 연구에서는 졸겔 공정으로 제작한 Y2O3 막을 이온빔으로 표면처리 하여 액정 배향층으로 사용하고, 고속 응답 특성의 Twisted nematic(TN) 액정 셀을 제작하였다. X선 광전자 분광법 (XPS)와 주사전자현미경 (SEM)을 이용하여 이온빔에 의한 Y2O3 의 표면 개질에 대하여 분석하였다. 고유전율의 Y2O3 막으로 제작한 TN 액정 셀은 기존의 러빙 PI로 제작된 TN 액정 셀과 비교하여 낮아진 임계전압 특성 (2.21 V)을 보여주었고, 빠른응답속도 (4.1ms의 rise time과 2.9ms 의 fall time)를 보여주었다. 고속 응답특성의 TN 액정 디스플레이를 위한 이온빔 처리된 Y2O3 막의 유용함을 확인 할 수 있었다.

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