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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제26권 제1호
발행연도
2019.1
수록면
35 - 39 (5page)

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현재까지 다공성 알루미나 구조물은 대표적으로 양극산화 방법으로 구현되어 오고 있다. 양극산화 방법을 통해 규칙적인 배열을 가진 알루미늄 산화 피막은 쉽게 만들 수 있지만, 복합 구조물 형태를 가진 산화피막은 상대적으로구현하기가 어렵다. 본 연구는 인산용액에서 양극산화 인가전압에 따른 피막 기공 크기, 두께 및 구조물 형태 변화를 관찰하고자 한다. 다층 복합 산화물 구조물 구현을 위해 양극산화 인가전압 조건을 조절하였고, 실험 조건은 10% 인산용액에서 양극산화 인가전압 100 V와 120 V로 각각 수행하였다. 실험 결과는 각 조건에 따라 다공성 구조물과 복합 구조물형태의 산화물 구조를 구현할 수 있었다.

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참고문헌 (16)

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C. Vargel / 2004 / Corrosion of Aluminum / Elsevier Science :9~88 google schola J. R. Davis / 1993 / Aluminum and aluminum alloys / ASM international :3 google schola 지혜정 / 2018 / 알루미늄 5052 합금의 산화피막 성장 및 내식성 연구 / 한국표면공학회지 51(6):372~380 dbpia S. Tajima / 1970 / Anodic oxidation of aluminum / Advances in Corrosion Science and Technology 1:229 google schola A. Belwalkar / 2008 / Effect of processing parameters on pore structure and thickness of anodic aluminum oxide (AAO) tubular membranes / Journal of Membrane Science 319:192 google schola

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