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저자정보
박명준 (국민대학교) 김성준 (국민대학교) 이시홍 (국민대학교) 김수인 (국민대학교) 이창우 (국민대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제22권 제5호
발행연도
2013.9
수록면
245 - 249 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2014

HfN 확산방지막의 열처리 중 결정학적 변화에 따른 nano-electrotribology 특성 변화 연구
박명준 ,  이재훈 ,  문경후 외 9명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014.08 학술대회자료
질소유량 변화와 고온 열처리에 의한 HfN 박막의 Nano-electrotribology 특성 연구
박명준 ,  김성준 ,  김수인 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2014.02 학술대회자료

2013

고온 열처리 과정에서 산소 Outgasing 효과에 의한 HfOx 박막의 Nanomechanics 특성 연구
박명준 ,  김성준 ,  이시홍 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2013.09 학술저널
연속압입 분석을 통한 HfN 박막의 질소 분압에 따른 고온 열처리후 물리적 특성 분석
박명준 ,  김수인 ,  김경진 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.08 학술대회자료
산소유량 변화에 의한 산소 과포화된 HfOx 박막의 고온 열처리에 따른 Nanomechanics 특성 연구
박명준 ,  이시홍 ,  김수인 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료

초록· 키워드

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MOSFET 구조의 차세대 Oxide 박막으로 주목받고 있는 HfOx박막을 rf magnetron sputter를 이용하여 Si(100) 기판 위에 증착하였다. 증착시 산소의 유량을 5, 10, 15 sccm으로 변화를 주며 증착하였고 이후 furnace에서 400부터 800℃까지 질소분위기로 열처리 하였다. 실험결과 HfOx 박막의 전기적 특성은 산소유량 증가에 따라 누설전류 특성이 향상되었으나, 열처리 온도가 증가함에 따라서는 감소하였다. 특히, 이 논문에서는 Nano-indenter와 AFM으로 HfOx 박막의 nanomechanics 특성을 측정하였다. 측정 결과에 의하면 열처리 온도가 증가함에 따라 최대 압입력을 기준으로 최대 압입 깊이가 24.9 nm에서 38.8 nm로 증가하였으며 특히 800℃ 열처리된 박막에서 압입 깊이가 급격하게 증가하였다. 이러한 압입 깊이의 급격한 증가는 박막내응력 완화에 의한 스트레스 변화로 예상되며, 그 원인으로 증착시 박막내 포함된 산소가 열처리 조건에 의해 빠져나감에 의한 것으로 판단된다.
#나노-역학 #나노트라이볼로지 #나노인덴터 #산화 하프늄 #산소배출 #Nano-Mechanics #Nanotribology #Nano-indenter #HfOx #Oxygen outgasing

목차

I. 서론
II. 실험방법
III. 연구결과 및 고찰
IV. 결론
References

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. Robertson / 2008 / / J. Appl. Phys 104 : 124111 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Z. He / 2006 / / Vaccum 81 : 211 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - H. S. Kim / 1996 / / Appl. Phys. Lett 69 : 3860 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - K. Prabakar / 2008 / / Vaccum 82 : 1367 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - B. Aguirre / 2011 / / Applied Surface Science 257 : 2197 ~ google schola

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