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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박동우 (전북대학교) 김진수 (전북대학교) 노삼규 (한국표준과학연구원) 지영빈 (한국해양대학교) 전태인 (한국해양대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제21권 제5호
발행연도
2012.9
수록면
264 - 272 (9page)

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본 논문에서는 InGaAs 반도체에 기반한 테라헤르쯔(THz) 송/수신기(Tx/Rx) 제작을 위한 기초 연구로서, InGaAs 박막의 THz 발생 및 검출 특성에 관한 결과를 보고한다. THz 발생과 검출 특성 조사에는 각각 MBE 장비로 고온(HT) 및 저온(LT)에서 성장한 InGaAs 박막이 사용되었으며, THz 발생에는 photo-Dember 표면방출 방법이 시도되었다. HT-InGaAs 기판 위에 제작한 전송선(Ti/Au)의 가장자리에 Ti:Sapphire fs 펄스 레이저(60 ps/83 MHz)를 조사하여 THz파를 발생시켰으며, 이때 THz 검출에는 LT-GaAs가 사용되었다. 시간지연에 따른 전류신호를 Fourier 변환하여 얻은 THz 스펙트럼의 주파수 범위는 약0.5∼2 THz이었으며, 여기 레이저 출력에 대한 신호의 세기는 지수함수적 변화를 보였다. THz 검출 특성에 사용한 LT-InGaAs Rx에는 쌍극자(5/20 μm) 구조의 안테나가 탑재되어 있으며, 차단 주파수는 약 2 THz이었다.

목차

I. 서론
II. THz 발생 및 검출 기구
III. 실험 방법
IV. 결과 및 논의
V. 요약 및 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (28)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001274116