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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
손명식 (순천대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제5호
발행연도
2011.9
수록면
345 - 355 (11page)

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GaAs나 InP 기반의 high electron mobility transistor (HEMT) 소자들은 우수한 마이크로파 및 밀리미터파 주파수 특성 및 이에 따른 우수한 저잡음 특성을 가지고 있다. GaAs 기판 위에 점진적으로 성장된 메타몰픽(Metamorphic) HEMTs (MHEMTs)는 InP 기판 위에 성정한 HEMT에 비해 비용 측면에서 커다란 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 이러한 MHEMT의 DC/RF 소신호 특성을 예측하기 위하여 InAlAs/InGaAs/GaAs MHEMT 소자들의 DC/RF 소신호 주파수 특성을 시뮬레이션하였다. 2차원 소자 시뮬레이터의 hydrodynamic 전송 모델을 사용하여 In<SUB>0.52</SUB>Al<SUB>0.48</SUB>As/In<SUB>0.53</SUB>Ga<SUB>0.47</SUB>As 이종접합 구조를 갖는 제작된 0.1-㎛ Γ-게이트 MHEMT 소자에 대하여 파라미터 보정 작업을 수행한 후, MHEMT 소자들에 대해 DC 특성 및 RF 소신호 주파수 특성을 시뮬레이션하고 실험 데이터와 비교 분석하였다. 또한, 게이트 리세스 구조에 따른 MHEMT 소자들의 DC/RF 특성을 시뮬레이션하고 비교 분석하였다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. Hydrodynamic HEMT 소자 시뮬레이션
Ⅲ. MHEMT 시뮬레이션 결과 및 분석
Ⅳ. 결론
감사의 글
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273482