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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 36 - 40 (5page)
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마이크로미터 크기의 역학적 공진기의 제작과 그 공진 주파수 변화를 이용하여 질량 변화량을 측정하는 방법에 대해 연구 하였다. 공진기의 공진 주파수를 측정하기 위해서 레이저의 간섭효과를 이용한 광학적 측정법을 사용하였는데 이 방법은 나노미터 스케일의 변위까지 감지할 수 있을 정도로 매우 감도가 높은 측정법이다. 공진기는 압전 세라믹(piezo ceramic) 위에 원자 현미경(atomic force microscope)의 캔티레버를 붙여서 만들었는데 이 방법은 압전판이 캔티레버의 공진 주파수로 진동할 때 캔티레버의 변위가 가장 크게 변화됨을 이용한 것이다. 또한, 전자 빔 증착기(e-beam evaporation system)를 사용하여 금을 캔티레버 위에 증착하여 질량을 변화시킨 후에 질량 변화량에 따른 공진주파수의 변화량을 측정하였다. 이 공진기는 질량센서의 역할을 수행할 수 있으며 수 마이크로그램을 감지할 수 있는 감도를 가짐을 확인하였다.
목차
I. 서론
II. 실험 방법
III. 실험결과 및 고찰
IV. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (9)
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1. [학술지(정기간행물)] - M. Nishio / 2005 / / Applied Physics Letters 86 : 133111 ~
2. [학술지(정기간행물)] - J. Zhou / 2006 / / Solid State Communications 139 : 222 ~ 226
3. [학술지(정기간행물)] - A. S. Sadek / 2010 / / Nano Lett 10 : 1769 ~ 1773
4. [학술지(정기간행물)] - S. S. Verbridge / 2008 / / Applied Physics Letters 92 : 013112 ~
5. [학술지(정기간행물)] - K. L. Ekinci / 2005 / / small 1 (8) : 786 ~ 797
2. [학술지(정기간행물)] - J. Zhou / 2006 / / Solid State Communications 139 : 222 ~ 226
3. [학술지(정기간행물)] - A. S. Sadek / 2010 / / Nano Lett 10 : 1769 ~ 1773
4. [학술지(정기간행물)] - S. S. Verbridge / 2008 / / Applied Physics Letters 92 : 013112 ~
5. [학술지(정기간행물)] - K. L. Ekinci / 2005 / / small 1 (8) : 786 ~ 797
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