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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.9
- 수록면
- 333 - 338 (6page)
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본 연구에서는 전자석 코일 마그네트론 소스를 가지는 비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 보호 코팅 소재로 사용되어지는 비정질 탄소박막을 제작하였다. 내부 전자석 코일의 전류를 고정하고 외부 전자석 코일의 전류를 다양하게 변화시켜 탄소 박막을 제작하였고, 제작되어진 박막들의 경도, 마찰계수, 접착력, 표면 거칠기 등의 트라이볼로지 특성들을 측정하였고, 라만과 HRTEM을 이용하여 구조적 특성을 평가하였으며, 이들 상호간에 관계를 규명하였다. 결과로서, 제작되어진 탄소박막의 경도, 마찰계수, 접착 특성은 외부 전자석 코일 전류가 증가함에 따라 향상되었으며, 이러한 결과는 박막내에 결합력이 강한 sp² 결합과 클러스터의 형성과 관련된다. 전자석 코일 전류의 증가는 전자와 이온 밀도의 증가시키고, 기판에서 이온의 충돌의 증가와 기판온도 향상을 야기한다. 이러한 현상의 박막내에 증가되어진 sp² 결합과 클러스터들의 형성은 탄소박막의 트라이볼로지 특성 향상에 기여하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - A. Grill / 1999 / / Diam. Relat. Mater 8 : 428 ~
2. [학술지(정기간행물)] - M. Schlatter / 2002 / / Diam. Relat. Mater 11 : 1781 ~
3. [학술지(정기간행물)] - J. K. Luo / 2007 / / J. Micromech. Microeng 17 : S147 ~
4. [학술지(정기간행물)] - A. R. Krauss / 2001 / / Diam. Relat. Mater 10 : 1952 ~
5. [학술지(정기간행물)] - J. C. Damasceno / 2000 / / Surf. Coat. Technol 133 : 247 ~
2. [학술지(정기간행물)] - M. Schlatter / 2002 / / Diam. Relat. Mater 11 : 1781 ~
3. [학술지(정기간행물)] - J. K. Luo / 2007 / / J. Micromech. Microeng 17 : S147 ~
4. [학술지(정기간행물)] - A. R. Krauss / 2001 / / Diam. Relat. Mater 10 : 1952 ~
5. [학술지(정기간행물)] - J. C. Damasceno / 2000 / / Surf. Coat. Technol 133 : 247 ~
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