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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.5
- 수록면
- 165 - 175 (11page)
이용수
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본 논문에서는 건식 진공펌프에서 측정한 다중 변수로 구성된 배치데이터의 통계적인 특성을 소개한다. 흡입구 및 배출구 압력과 부스터/드라이 펌프의 소비전류와 같은 상태변수의 변위분포는 2개나 3개의 특정적인 구간으로 나뉘는 특성이 있다. 이런 관측을 통해 발견한 통계학적 특성을 나타내기 위해 적응형 인자 모델(APM)을 사용하였다. APM 모델기반의 배치 데이터는 건식 진공펌프의 상태를 진단하는데 적절함을 증명하였고, 이전의 동적 시간 왜곡 알고리즘과 비교하였을 때 계산시간 및 필요 메모리 면에서 효율적임을 확인하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험장치 및 측정방법
Ⅲ. 측정된 상태변수들의 통계적 특성 분석
Ⅳ. 적응형 인자 모델(APM) 기법
Ⅴ. 실험결과 및 고찰
Ⅵ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - R. Bahren / 1993 / / Vacuum 44 : 709 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 이상윤 / 2010 / 반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요 / 한국진공학회지 19 (4) : 265 ~ 274
3. [단행본] - R. L. Mason / 2002 / Multivariate Statistical Process Control with Industrial Applications / ASA SIAM
4. [학술지(정기간행물)] - 성동원 / 2006 / MPCA 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태진단에 관한 연구 / 한국진공학회지 15 (4) : 338 ~ 346
5. [학술지(정기간행물)] - A. Kassida / 1998 / / Process systems Engineering, AIChE Journal 44 : 846 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 이상윤 / 2010 / 반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요 / 한국진공학회지 19 (4) : 265 ~ 274
3. [단행본] - R. L. Mason / 2002 / Multivariate Statistical Process Control with Industrial Applications / ASA SIAM
4. [학술지(정기간행물)] - 성동원 / 2006 / MPCA 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태진단에 관한 연구 / 한국진공학회지 15 (4) : 338 ~ 346
5. [학술지(정기간행물)] - A. Kassida / 1998 / / Process systems Engineering, AIChE Journal 44 : 846 ~
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