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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 35 - 41 (7page)
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본 연구에서는 InAs/GaSb 응력초격자(SLS)의 계면 흡착(soaking)에 의한 응력변조 효과를 X선회절(XRD)을 통하여 분석하였다. As과 Sb 흡착에 의하여 유도된 응력의 변화는 XRD 곡선의 기판피크과 0차 위성피크 사이의 분리각으로부터 조사하였으며, As/InAs 흡착은 약간의 GaAs-like 계면층을 유발하는 반면, Sb/GaSb 흡착은 InSb-like 계면상을 유도하는 것으로 분석되었다. Pendellosung 간섭진동의 Fourier 변환 곡선을 이용하여, [InAs/GaSb]-SLS 성장에서 결정성이 가장 우수한 최적 As/InAs와 Sb/GaSb의 흡착시간은 각각 2 sec와 10 sec임을 밝혔다. InAs→GaSb 계면에 As과 Sb를 동시에 흡착시킨 SLS에서 XRD 위성피크가 2개로 분할되는 특이한 쌍정현상이 관측되었는데, 이것은 계면에서 In↔Ga 및 Sb↔As 상호혼합에 의한 InSbAs와 GaAsSb의 2종의 결정상이 공존함으로써 발생한 현상으로 추정된다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 요약 및 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (22)
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1. [학술지(정기간행물)] - D. L. Smith / 1987 / / J. Appl. Phys 62 : 2545 ~
2. [학술지(정기간행물)] - B. -M. Nguyen / 2007 / / Appl. Phys. Lett 91 : 163511 ~
3. [학술지(정기간행물)] - P. Piquini / 2008 / / Phys. Rev. B 77 : 115314 ~
4. [학술지(정기간행물)] - E. Plis / 2007 / / Appl. Phys. Lett 91 : 133512 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. J. Lee / 2009 / / Appl. Phys. Lett 95 : 102106 ~
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3. [학술지(정기간행물)] - P. Piquini / 2008 / / Phys. Rev. B 77 : 115314 ~
4. [학술지(정기간행물)] - E. Plis / 2007 / / Appl. Phys. Lett 91 : 133512 ~
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