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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.3
- 수록면
- 86 - 92 (7page)
이용수
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본 연구에서는 새롭게 개발된 센서인 in-situ particle monitor (ISPM)와 기존센서의 기능을 업그레이드 한 센서인 selfplasma optical emission spectroscopy (SPOES)를 이용해 화학기상증착 진공공정을 진단하였다. 본 연구에서 사용된 증착공정 장비는 silane 가스를 이용한 silicon plasma enhanced chemical vapor deposition과 borophosphosilicate glass 증착 장비이다. 두 장비의 증착 또는 클리닝 조건에서의 배출되는 오염입자와 배기가스를 개발된 센서를 이용해 공정상태를 실시간으로 진단하는 것과 개발된 센서의 센싱 능력을 검증하고자 하는 목적으로 연구가 진행되었다. 개발된 센서는 장비 배기구 설치되었으며, 공정압력, 유량, 플라즈마 파워 등의 공정변수 변화에 따른 오염입자 크기 및 분포와 배기 부산물의 변화를 측정하고, 측정 결과의 상호 연관성을 분석하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 토의
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. F. O'Hanlon / 1992 / / J. Vac. Sci. Technol. A 10 : 1863 ~
2. [기타자료] - L. Peters / 2007 / International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS)
3. [학술지(정기간행물)] - P. J. Ziemann / 1995 / / J. Aerosol. Sci 26 : 745 ~
4. [학술지(정기간행물)] - / 1989 / A theory for multiresolution signal decomposition : the wavelet representation / IEEE Transaction on Pattern Analysis and Machine Intelligence 11 : 674 ~ 693
5. [학술지(정기간행물)] - S. G. Mallat / 1989 / Multifrequency channel decompositions of images andwavelet models / IEEE Transactions on 37
2. [기타자료] - L. Peters / 2007 / International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS)
3. [학술지(정기간행물)] - P. J. Ziemann / 1995 / / J. Aerosol. Sci 26 : 745 ~
4. [학술지(정기간행물)] - / 1989 / A theory for multiresolution signal decomposition : the wavelet representation / IEEE Transaction on Pattern Analysis and Machine Intelligence 11 : 674 ~ 693
5. [학술지(정기간행물)] - S. G. Mallat / 1989 / Multifrequency channel decompositions of images andwavelet models / IEEE Transactions on 37
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