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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 63 - 69 (7page)
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본 연구에서는 기존 실리콘 반도체 기술 기반의 포토 및 이빔 리소그래피 공정을 통하여 유기 반도체 소자를 패터닝하였다. P3HT나 PEDOT 등의 유기 반도체는 용매에 녹기 때문에 MIMIC (micro-molding in capillaries)이나 inkjet printing 기술을 이용하여 마이크로미터 크기의 소자 제작이 가능하였으나, 펜타신은 용매에 녹지 않기 때문에 매우 복잡한 방법으로 마이크로미터크기의 소자를 제작하여왔다. 그러나, 본 연구에서는 원자층 증착 방법으로 증착한 산화 알루미늄막을 펜타신의 보호층으로 이용하여 기존의 포토 및 이빔 리소그래피 방법으로 마이크로미터크기의 펜타신 소자를 제작하였으며 그 전기 특성을 확인하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법ㆍ결과 및 고찰
Ⅲ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (19)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - R. A. Street / 2006 / / Mater. Today 9 : 32 ~
2. [학술지(정기간행물)] - C. D. Dimitrakopoulos / 2002 / / Adv. Mater 14 : 99 ~
3. [학술지(정기간행물)] - S. R. Forrest / 2004 / / Nature 428 : 911 ~
4. [학술지(정기간행물)] - A. Blümel / 2007 / / Org. Electron 8 : 389 ~
5. [학술지(정기간행물)] - D. A. Serban / 2009 / / Small 5 : 1117 ~
2. [학술지(정기간행물)] - C. D. Dimitrakopoulos / 2002 / / Adv. Mater 14 : 99 ~
3. [학술지(정기간행물)] - S. R. Forrest / 2004 / / Nature 428 : 911 ~
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5. [학술지(정기간행물)] - D. A. Serban / 2009 / / Small 5 : 1117 ~
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